采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点  
电子工业超纯水设备特点
    电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用*和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。  
电子工业超纯水的应用领域

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；

2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；

3、实验室和中试车间用超纯水；

4、汽车、家电表面抛光处理；

5、光电子产品；

6、其他高科技精微产品；

7、超纯材料和超纯化学试剂
8、实验室和中试车间