全自动车间喷雾加湿器能将车间相对湿度控制在40%至60%的范围，全自动车间喷雾加湿器实现了全自动进水和湿度控制，无需人员操作，同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快。半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

    能将湿度控制在一个相较的湿度，面高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。

    当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。

     原理
    很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室、洁净棚周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

    总而言之半导体无尘车间、洁净室中控制相对湿度不是随意的。但是，随着时间的变化，回顾一下常见的被普遍接受的实践的原因和基础。