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一、概述
具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems)气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门等气体的检测和控制。
流量计氧气氮气空气甲烷氩气氢气流量控制器能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。
二、技术参数
1、 测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)
2、 流量范围: DN3-3 30-300ml/min
DN3-4 250-2500ml/min
DN3-6 600-6000ml/min
DN3-8 1200-12000ml/min
注:(a)以上流量的测量介质为空气而言;
(b)以上流量的标准状态20℃,101.325kPa。
(c)每个口径量程范围均可扩大
(d)特殊需要可厂家单独标定
3、 zui大允许误差:±1.5%FS
4、 工作温度范围:0-55℃;
5、 工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
6、 供电电源:24VDC
7、 输出信号:4-20mA,RS485通讯;
8、 环境温度:0-55℃;
9、 显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位。
精度等级高是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代。
安装与接线
1、 安装注意事项
安装时必须注意场合,不能安装于管路有杂质的地方;
安装时应使流量计上的流向标志所示方向与流体流动方向*;
2、 上游管道应有10D(D为管道内径)的直管段,下游应有5D的后直管;
3、 仪表安装处的管道内应光滑清洁,无突出,流量调节阀应安装在流量计的下游;
4、 仪表水平安装,安装使用中严防漏气;