水质标准优于中国国家实验室用水（GB6682-92）一级水标准；优于三次蒸馏水

吸光度（254nm,25px光程）≤0.001     可溶性硅（以计），mg/L﹤0.01

总有机碳量：TOC﹤15ppb             微粒子（大于0.22μm）含量： ﹤1/ml

重金属含量（mg/L.max）：﹤0.01      氧化矽含量（mg/L.max）: ≤0.01

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