MC/MCR-ALICAT大流量质量流量控制器-北京汉默科技有限公司手机版

详细介绍

一、ALICAT大流量质量流量控制器产品特点

1、50毫秒内完成稳定的控制响应

精确、稳定的流量取决于控制响应速度，艾里卡特?质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定！

2、操作便捷

二、ALICAT大流量质量流量控制器产品系列

MC 标准系列

MCR 大流量系列

精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特?R系列阀门为的无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW / MCRW 低压损系列

zui大限度减小压损对系统的影响，满量程压损zui低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力，是航kong航天、环境气体分析等应用的*选择；zui大量程：0-500 slpm。

MCS / MCRS 耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。

MCE / MCV 半导体行业系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm.

MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列

*双向质量流量控制器，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。

三、ALICAT大流量质量流量控制器常用选配项

四、ALICAT大流量质量流量控制器性能参数

指标	质量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
重复性	±0.2%
量程比	200:1
响应时间	100ms
标准状态(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
温度范围	-10～50
零点漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
湿度范围	0-*
测量流量范围	128％（过流率）
zui大耐压	145psi
输出信号（数字）	质量流量、体积流量、压力和温度
数字信号可选	RS485，Modbus，Profibus
输出信号（模拟）	质量流量、体积流量、压力和温度
模拟信号可选	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
电气连接	8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）
供电电压	7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
供电电流	0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）