随气体流量上升,异味气体处理效率呈下降趋势。当烟气流量400m3 Πh时,其处理效 率比烟气流量300m3 Πh时降低了约16%。由于烟气中有机物浓度无法改变,所以流量的增大就意味着流速的增大,而设备功率一定时,流速的大小反映了气流在等离子体设备中停留时间的长短。流速越大,气流在等离子体设备中停留的时间越短,VOCs分子随气流在反应器中停留时间也就越短,与自由电子的碰撞几率减少,因此VOCs分子离解、电离的几率相应减少,处理效率下降。

    低温等离子体技术则较好，反应条件为常温常压，反应器结构简单，并可同时消除混合污染物(有些情况还具有协同作用)，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。

    等离子体化学反应过程。低温等离子体技术处理污染物的原理过程为在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。

    废气净化器具有节能：低温等离子体处理烟气能耗低，工艺简洁：低温等离子体设备,操作简单,方便.无需专人看管，设备使用寿命长：设备由不锈钢材，石英、钼等材料组成等特点。