等离子体技术处理有机废气的原理为在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离，解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。等离子体技术降解有机气体不需要外加吸收剂或催化剂，只与强电离放电中产生的OH•反应生成CO2和H2O，实现无污染化。在强电离放电中，OH•的浓度对有机废气的降解作用十分重要。

等离子体分解破坏挥发性有机污染物的两种途径如下

       （1）高能级电子直接作用于污染物分子：

        e + 污染物分子 —— 各种碎片分子

        （2）高能级电子间接作用于污染物分子：

        e +O2 (N2,H20) ——2O(N,N*,OH) +污染物分子 ——中性分子