设备采用微波催化紫外光管，是目前工业应用中zui强的紫外线，紫外线剂量超过65mw/cm2，185nm，176nm，173nm，154nm波长的紫外线在光谱中达到14%，电子能量达到13eV，能迅速撕裂污染物，高能离子带正电荷的氧分子团将在*时间被裂解，成为活氧，参与更高级的氧化阶段。可以根据废气的摩尔浓度，控制活氧的发生量，同时根据民用和工业的要求设计无极灯的数量和活氧能力，保障并且防止臭氧剩余排放。

紫外光微波废气净化技术采用微波电磁辐射功能对废气进行微波辐射，使细胞中极性物质随高频微波场的摆动受到干扰和阻碍，引起微生物细胞的蛋白质，核酸等生物大分子受热凝固或变性失活，从而导致其突变或死亡，同时对磁共振使之产生强磁辐射对废气分子进行切割、破坏、断裂，如：氨、*胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、苯、甲苯、二甲苯、丁酮、丙酮、吡啶、乙酸乙脂、DMF等物质的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，*达到脱臭及杀灭细菌的目的。再利用O3对废气进行氧化反应，zui后采用特制合成催化剂对废气进行光合还原反应。可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。