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低温等离子是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基本内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染分子在及短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应达到降解污染物的目的。
适用范围：
适用于喷漆、橡胶制品，印刷等行业中，它们在生产过程中所产生的苯、甲苯、二甲苯和醚类等有害气体。
