Multi，Kilo-MEMS微机电可变形反射镜，产自美国BMC 电镜耗材-深圳海纳光学有限公司手机版

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MEMS（微机电系统）可变形镜面技术MEMS可变形反射镜

维尔克斯光电为用户提供来自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微机电可变形反射镜和微机电分段变形镜，类型主要分为低致动器数DM、中执行器计数DM以及高执行器数MEMS可变形反射镜。

Multi-DM可变形镜能够实现高达 5.5 μm 的行程、2 kHz 的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以 X-Driver 的形式为 Multi-DM 系统提供高速电子升级。

中执行器数DM系统是高性能波前校正器，适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用，提供三种类型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。

Kilo-DM可变形镜是用于精确、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达 1020 个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后，该系统非常适合要求严苛的应用。

作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并产生好的效果。492-DM和648-DM系统分别将492和648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后，是天文学和下一代成像应用的理想选择。

Boston Micromachines的MEMS可变形反射镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于高级波前控制的经济且通用的像差调制解决方案，具有高达140个精确控制的元件和低致动器间耦合，Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的广泛应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。

这些反射镜部署在世界各地著名的天文设施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。

此外，2K-DM 被安装为斯巴鲁日冕仪自适应光学（SCExAO）仪器和麦哲伦望远镜 (MagAO-X) 的实验性日冕自适应光学系统中的启用组件。多年来，两者都一直在空中观测中持续运行。

MEMS可变形反射镜反射镜特点：

-大阵列产生高分辨率波前校正。

-*的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响最小

-优化设计可实现高速应用的快速波前整形

微机电分段变形镜，MEMS可变形反射镜规格：

DM型号	执行器数量	跨孔径执行器数量	物理行程（μm）	波前行程（μm）	孔径（mm）	螺距（μm）	机械响应	更新率：标准（kHz）	更新率：高速（kHz）	近似执行器耦合
492-S-1.0-SLM	492	24	1.0	2.0	9.60	400	＜80	60	n/a	0%
492-3.5-SLM	492	24	3.5	7.0	9.60	400	＜80	45	n/a	0%
Kilo-CS-1.0-SLM	952	34	1.0	2.0	13.60	400	＜80	60	n/a	0%
Kilo-C-3.5-SLM	952	34	3.5	7.0	13.60	400	＜80	45	n/a	0%
2K-1.5L-SLM	2040	50	1.5	3.0	20.00	400	＜20	30	n/a	0%
2K-3.5-SLM	2040	50	3.5	7.0	20.00	400	＜80	30	n/a	0%

请注意：填充系数>98%(SLM)，表面形状：<30 nm

*自定义执行器可根据要求提供

微机电可变形反射镜, MEMS变形镜规格：

DM型号	执行器数量	跨孔径执行器数量	物理行程(μm）	波前行程(μm)	孔径（mm）	螺距(μm)	机械响应	更新率：标准（kHz）	更新率：高速（kHz）	近似执行器耦合
Multi-C-1.5L-DM	137	13	1.5	3.0	4.80	400	＜75	2	100	15%
Multi-3.5-DM	140	12	3.5	7.0	4.40	400	＜75	2	100	13%
Multi-3.5L-DM	140	12	3.5	7.0	4.95	450	＜75	2	100	13%
Multi-5.5-DM	140	12	5.5	11.0	4.95	450	＜100	2	100	22%
492-S-0.6-DM	492	24	0.6	1.2	6.90	300	＜20	60	n/a	15%
492-S-1.0-DM	492	24	1.0	2.0	9.20	400	＜75	60	n/a	13%
492-1.5-DM	492	24	1.5	3.0	6.90	300	＜20	45	60	15%
492-3.5-DM	492	24	3.5	7.0	9.20	400	＜75	45	60	13%
492-5.5-DM	492	24	5.5	11.0	10.35	450	＜100	45	60	22%
648-5.5-DM	648	28	5.5	11.0	12.15	450	＜100	45	60	22%
Kilo-CS-0.6-DM	952	34	0.6	1.2	9.90	300	＜20	60	n/a	15%
Kilo-CS-1.0-DM	952	34	1.0	2.0	13.20	400	＜75	60	n/a	13%
Kilo-C-1.5-DM	952	34	1.5	3.0	9.90	300	＜20	45	60	15%
Kilo-C-3.5-DM	952	34	3.5	7.0	13.20	400	＜75	45	60	13%
2K-1.5L-DM	2040	50	1.5	3.0	19.60	400	＜40	30	n/a	15%
2K-3.5-DM	2040	50	3.5	7.0	19.60	400	＜75	30	n/a	13%
3K-1.5-DM	3063	62	1.5	3.0	18.30	300	＜20	16	n/a	15%
4K-3.5-DM	4092	64	3.5	7.0	25.20	400	＜75	16	n/a	13%

请注意：填充系数>99%(DM)，表面形状：<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供

MEMS可变形反射镜可用的选项：

变形镜	镀层	窗口AR镀层（nm）	驱动*
Multi	铝金防护银	400-1100 550-2500 650-1050 1050-1700 1550	Multi-Driver X-Driver
492 648 ** Kilo		400-1100 550-2500 1550	S-Driver ** Kilo-Driver Kilo-Low-Latency-Driver
2K 3K 4K		400-1100 550-2500 1550	+K Driver

* 亚纳米级平均步长

** S-Driver 不适用于 648 DM

MEMS微机电可变形反射镜，产自美国BMC

产品简介

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