说明： 

Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/ 轮廓测量装置)CS-5000CNC / CS-H5000CNC

技术参数:

X1 轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.00625μm

检测方法: 激光全息光栅尺

驱动速度: 40mm/s (CNC 模式)0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)

测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)

移动方向: 向前／向后

直线度: (0.1+0.0015L)μm、使用标准测针(0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针

直线度: (0.05+0.0003L)μm、使用标准测针(0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针

指示精度 (20°C): ±(0.3+0.002L)μm

指示精度 (20°C): ±(0.16+0.001L)μm

L 为驱动长度(mm)

Z1 轴

测量范围: 12mm (标准测针)24mm (二倍长型测针)

分辨率: 0.001μm (标准测针)0.002μm (二倍长型测针)

测针上／下运作: 弧形运动

检测方法: 激光全息光栅尺

指示精度 (20°C): ±(0.3+I0.02HI)μm

指示精度 (20°C): ±(0.07+I0.02HI)μm

H 为测量高度(mm)

测力: 4mN (标准测针)0.75mN (二倍长型测针)

跟踪角度: 向上60° 、 向下60°

(取决于表面粗糙度)

测针针尖: 半径: 5μm, 角度： 40°、钻石

(球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)

测针方向: 向下

Z2 轴(立柱)

测量范围: 300mm (500mm：高立柱型)

分辨率: 0.05μm

检测方法: 反射型线性编码器

驱动速度: 200mm/s (CNC 模式)0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)

基座尺寸(W x D): 750 x 600mm

基座材料: 花岗岩

尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm(800 x 620 x 1200mm：高立柱型)

重量: 240kg (250kg：高立柱型)

*CS-H5000CNC

性能参数

型号CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC

货号* (100V - 120V) 525-721-1 525-722-1 525-723-1 525-724-1

货号* (200V - 240V) 525-721-2 525-722-2 525-723-2 525-724-2

X1 轴测量范围200mm 200mm 200mm 200mm

Z2 轴垂直行程300mm 300mm 300mm 300mm

Y 轴工作台装置— — 已安装已安装

a 轴装置— 已安装— 已安装

型号CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC

货号* (100V - 120V) 525-741-1 525-742-1 525-743-1 525-744-1

货号* (200V - 240V) 525-741-2 525-742-2 525-743-2 525-744-2

X1 轴测量范围200mm 200mm 200mm 200mm

Z2 轴垂直行程500mm 500mm 500mm 500mm

Y 轴工作台装置— — 已安装已安装

a 轴装置— 已安装— 已安装

型号CS-H5000CNC CS-H5000CNC

货号* (100V - 120V) 525-761-1 525-763-1

货号* (200V - 240V) 525-761-2 525-763-2

X1 轴测量范围200mm 200mm

Z2 轴垂直行程300mm 300mm

Y 轴工作台装置— 已安装

a 轴装置— —