CT-BW废气处理设备特点和优势      

? 高达99.99%的破坏除去效率（DRE） 

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模块化 

   - 一个电器柜可连接高达四组独立模块 

   - 模块间彼此隔离 

   - 每个模块都有其独立的安全链（传感器，探针等） 

? 每个介质只需要一个Hook-up连接点，可多达4个模块 

客户量身定制的备用配置 

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改良的抗腐蚀反应腔盖 

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低运行成本，根据制程来控制燃烧头性能 

反应腔中的水幕，避免腐蚀和阻塞问题 

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上至下燃烧器设计，降低燃烧头喷嘴的阻塞问题 

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 由于经优化的内部设计，可使维护简易且快速 

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 自动化的废气进口清洁装置，增加MTBPM

或RS485的监控接口 

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 图形化的使用介面并附解说文字，使故障排除更为容易 

量身定制的废气减排设置，以满足各种工艺需求 

? Ethernet

燃料气的选择性高，如：液化天然气、城市燃气、煤气、氢气、丙烷、丁烷等 

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符合以下的安全标准与规范：

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   -  SEMI S2-0706

   -  SEMI S14-0704

   -  NFPA79: 2007

-  SEMI S8-0308

   -  EN / ISO 14121-1: 2007

   -  EN / ISO 13849-1: 2008

   -  EN60204-1: 2006

   -  MD2006/EC/42-Annex I: 2006

? 德国制造