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CCQ型－气动超高真空插板阀：
CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体，带反馈信号装置。
主要技术性能
适用范围： 105～1.3×10-7Pa 阀门漏率： ≤1.3×10-7Pa.L/S.DN≤200
≤6.7×10-7Pa.L/S.DN≥250 适用温度： -30～+150℃ 阀门开启时阀板两侧的压差：
≤2.7×103Pa. 气源压力： 0.4～0.6MPa
主要零件材料
阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管轴封、丁腈橡胶。
外形及连接尺寸mm
型号 DN A H D Do D1 D2 D3 L L1 G E n-d 法兰标准 CCQ-50 50 60 92 89 72.4 61.6 55.6 515 153 220 65 8-M8 GB6071 CCQ-63 63 65 105 114 92.1 82.6 76.6 566 180 220 80 8-M8 CCQ-80 80 65 130 130 110 99 93 603 200 220 80 16-M8 CCQ-100 100 70 152 152 130.2 120.7 114.7 653 267 220 95 16-M8 CCQ-150 150 70 202 202 181 171.5 165.5 771 350 270 95 20-M8 CCQ-200 200 80 251 253 231.8 222.3 216.6 889 424 270 115 24-M8 CCQ-250 250 85 300 314 288 308 275 271 1127 574 350 140 24-M10 JB5278 CCQ-300 300 85 352 365 338 353 323 318 1197 613 420 140 32-M10 CCQ-320 320 85 372 385 357 379 344 340 1197 613 440 140 36-M10 JB5278
