NANOMAP D 光学探针双模式三维形貌仪
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面议薄/厚膜材料
薄/厚膜沉积后测量其表面粗糙度和台阶高度,表面结构形貌, 例如太阳能电池产品的银导电胶线
蚀刻沟槽深度,光刻胶/软膜
亚微米针尖半径选件和埃级别高度灵敏度结合,可测量沟槽深度形貌。
材料表面粗糙度、波纹度和台阶高度特性
分析软件可轻易计算40多种的表面参数,包括表面粗糙度和波纹度。计算涵盖二维或三维扫描模式。
表面光滑度和曲率
可从测量结果中计算曲率或区域曲率
薄膜二维应力
测量薄膜应力,能帮助优化工艺,防止破裂和黏附问题
表面结构和尺寸分析
无论是二维面积中的坡度和光滑度,波纹度和粗糙度,还是三维体积中的峰值数分布和承载比,本仪器都提供相应的多功能的计算分析方法。
缺陷分析和评价
*的功能性检测表面特征,表面特征可由用户自定义。一旦检测到甚至细微特征,能在扫描的中心被定位和居中,从而优化缺陷评价和分析。