1. FFU的历史
早在二十世纪六十年代，*个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例（大约有5000台）。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢？
有三个问题占主导地位。
*：噪声问题。各位可以想一想，在当时的生产工艺水平下，5000台风机在一起的噪声会是多大呢？
第二：压力平衡。在很大的静压箱里，每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的。
第三：维护问题。FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
但是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65DBA以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。zui后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。
现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。 *、灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二、可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三、负压通风。这是FFU的*特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。
用大循环减少40%的运行成本。

2. FFU及其性能
FFU是FAN FILTER UNIT的缩写，中文称作“风机过滤器单元”也就是将风机和过滤器（过滤器（HEPA）或超过滤器（ULPA））组合在 一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的过滤器的送风口，自净器，层流罩等都是FFU的一种 。不过，现在所说的FFU是具有标准模数尺寸，能按模数组合起来实现1级、10级、100级、1000级等不同级别的洁净室的净 化单元设备。目前，国内、外常用的模数有1200X6mm（4英尺X2英尺）、1200X900mm（4英尺X 3英尺）、1200X 1200mm（4英尺X4英尺）、其厚度多在300-400mlTl。
FFU一般由以下四部分组成：风机、过滤器、机壳、电器控制元件。

3. FFU的应用
3．1适应性
3．2经济性
3．3风量和余压
3．4噪声
3．5控制
3．6维护管理

4. FFU节能分析
4．1 节能分析：
① 由于采用HH---F系统后，能使FFU在满足洁净要求的zui低风速运行，使FFU运行时的风机能耗降低
② 由于采用HH---F系统后，能使FFU在满足洁净要求的zui低风速运行，减小了电机发热，使洁净室
的冷负荷有效降低
电机参数： HP1/5 AC230 PH1 RPM1075
通过实测，我们发现，HH－F系统在保证洁净度要求的前提下对FFU风机进行调速，风速平均每降低0.02m/s，电机能耗降低10W左右，节能*。
4．2 延长FFU寿命的分析：
采用HH---F系统能延长FFU的使用寿命，主要体现在二个方面：
① 延长过滤器的使用寿命 由于采用HH---F系统后，能使FFU在满足洁净要求的zui低风速运行，从而
使通过FFU的风量达到zui小，所以延长了过滤器的使用寿命
② 延长电机的使用寿命 实验证明当电机的工作温度超过电机的zui高充许温度时，每升高8－10℃电
机绝缘的寿命就要降低一半。电机绝缘的老化，会引起电机匝间短路，从而使电机*报废。使
用HH－F系统，能使FFU的电机在工作时发热明显减小。
4．3 节约线缆分析：
由于采用HH－F集散型智能控制系统，各个FFU的起停、调速全部由网络指令控制，不必为每一台
FFU设置单独的动力线路与控制线路，全部FFU使用一条统一的电源线，一条统一的系统总线即可。大大
降低了系统布线的投资及工作量。

5. FFU的选择
5．1试验方法和试验装置
5．2结果分析
（1）FU机组内的过滤器的初阻力均不相同，大约在120—150Pa之间。
（2）当过滤器为初阻力，且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时，不同FFU的机外余压均在100Pa左右，有的高达 130Pa。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时，各机组的机外余压，都能在60Pa以上。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时，被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。
（3）FFU的声压级噪声大多在57dB（A）～59dB（A）之间。比较好的品牌其噪声在54dB（A）。
（4）各不同晶牌的FFU的能耗大多在160～180W，只有个别品牌的能耗大，高达350W是一般能耗的一倍.