产品介绍

该设备是对多晶硅还原炉炉筒粘附在内壁的物料和污物，进行清洗和烘干，实现对炉筒的自动清洗和烘干。设备整个清洗烘干过程自动化操作，一人完成；同时也可手动清洗；清洗后钟罩内壁没有结垢物及污物（可以用试制擦拭检查，以看不到污物为准），并达到干燥要求；清洗和烘干时间根据需要可调。

主要优点是：1.将多道工序组合在一起，缩短了工艺流程；2.系统投资省，运行费用低，经济节能；3.整个系统控制采用手动和自动相结合，采用技术*，运行可靠，操作管理简单的工艺，使*性和可靠性有机地结合起来，降低操作劳动强度。

工艺介绍

以加热后的高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头，形成360°的网状喷射表面，完成炉筒内部表面的水力扫射，用脱盐水预清洗，用热碱液（5%-10%氢氧化钠溶液）为主要清洗液，用纯水漂（冲）洗，完成清洗过程。用经过三级净化（10万级）的纯净空气，加热后（50-80°C）烘干加热炉筒，再逐步降温到常温，通过连续干燥，完成干燥过程。

工艺流程：

炉筒吊入工位→回用水预清洗→热碱液清洗→脱盐水热漂洗→热空气烘干→常温干燥      →吊出工位

型号表：

产品参数：