臭氧灭菌为溶菌级方法，杀菌*，无残留，杀菌广谱，可杀灭细菌繁殖体和芽孢、病毒、真菌等，并可破坏肉毒杆菌毒素。另外，O3对霉菌都有杀灭作用。O3由于稳定性差，很快会自行分解为氧气或单个氧原子，而单个氧原子能自行结合成氧分子，不存在任何有毒残留物，所以，O3是一种无污染的消毒剂。O3为气体，能迅速弥漫到整个灭菌空间，灭菌*。而传统的灭菌消毒方法，无论是紫外线，还是化学熏蒸法，都有不*、有死角、工作量大、有残留污染或有异味等缺点，并有可能损害人体健康。如用紫外线消毒，在光线照射不到的地方没有效果，有衰退、穿透力弱、使用寿命不长等缺点。化学熏蒸法也存在不足之处，如对抗药性很强的细菌和病毒，则杀菌效果不明显。
活性氧（臭氧）灭菌消毒作用体现在它的强氧化性上，是*的绿色广谱高效的消毒灭菌剂。广泛用于饮用水消毒，医疗卫生机构空气消毒，臭氧会在30-40分钟后自动还原成氧气，没有化学残留二次污染。所应用的领域有消毒柜、果蔬解毒机，妇科治疗仪、食品加工、饮用水灌装消毒设备等。
移动式臭氧消毒杀菌机主要是通过电解制法制成。一般大中型臭氧发生器有氧气源和空气源两种，直接把氧气电解成臭氧。臭氧发生器产生的臭氧具有低浓度下可瞬时完成氧化作用；微量时有一种清新气味，臭氧与有机物、无机物均能产生氧化瓜。实践证明臭氧化气体用于水处理、脱色、除臭、杀菌、灭藻与病毒灭活；除锰、除硫化物、除酚、除氯、除异味、石油制品及合成洗涤后消毒；作为氧化剂，用于某些香料合成、提炼药物、润滑脂合成、合成纤维的制造；作为催化剂用于油墨涂料速干、助燃及酿酒发酵方面、各类纤维纸浆漂白、全盛洗涤剂的脱色、毛皮加工件的除臭杀菌等；在医院废水处理中起到消毒、除臭等作用。在废水处理方面，可除金属离子。
