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去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水*或不*地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。 在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。 从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ： 1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质 2、然后高压通过反渗透膜 3、zui后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物 4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程zui高电阻率可达到18兆。 相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电导率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
