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u采用BROS公司研发的Z轴自动测量系统,解决了以往工具显微镜Z轴测量精度不准的缺陷,测量模式是通过Z轴自动对焦系统利用光学影像系统配备的光纤高清相机,重复精度可以达到1.5UM是目前是光学测量显微镜Z轴测量的高精度.
uMM-300/400/工具金像显微镜Z轴的配备自动对焦系统,大幅度降低人员操作复杂性,让人机工学做得高质,是目前的工具金像显微镜u新型的MM-300 ,MM-400工具金像显微镜配备SOPTOP公司的MX无限远色差校正光学镜头,可进行明场/暗场/偏光/DIC观察. 或配备NIKON公司的CFI60无穷远 高解析力光学镜头在高倍的观察下,可使工件的解析度增加,标准高倍率之工作距离也可至 1mm 。可选择使用不同功能之旋转鼻轮,五孔鼻轮可用于明视野观察,明暗视野观察或明暗视野加DIC 可供客户需要选择.u?灯源采用了目前是的LED做照明光源,大限度降低因以往采用卤素灯泡发热而造成的热胀误差.
u新型的MM-300 ,MM-400工具金像显微镜配备集成的MM控制器接口的支架和新研发的DP-E1数据处理器或SC计数器以及基于个人计算机的BROS-MAX数据处理软件能够提供出色的几何数据处理和存储能力.
u新型的MM-300 ,MM-400工具金像显微镜配备了进行粗调和微调的电子手轮裝置,可使仪器到半自动化,提升量測精度,使量測的数据达到高精度标准。
u运用范围:精密模具测量,微电子观察测量,TFT 液晶检查分析测量,4寸 5寸 6寸8寸12寸 半导体晶圆检查测量。