(LQS)两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z库号:M403821

(LQS)两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z库号:M403821

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2017-08-29 09:19:41
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产品简介

(LQS)两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z库号:M403821 结合微行炉业的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

详细介绍

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2路质子混气系统/质量流量控制器/两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z

库号:M403821   查看hh

       midwest-group       
用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在它的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合微行炉业的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

质量流量控制器
工作电压:220V
大输出功率:18W
控制范围:
控制器1:1-199 SCCM
控制器2:1-499 SCCM
工作温度:5-45 oC
大压力:3x 10^6 Pa
准确度:±1%FS
机械压力表测量范围:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
型阀:304不锈钢
混气罐:Φ80*120MM
截止阀:Φ1/4 304不锈钢
外形尺寸:600*600*650MM
 
      集团       
 

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