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(LQS)光学膜厚控制仪MKY-Ⅲ 型号:MKY-III库号:M12664 (LQS)光学膜厚控制仪MKY-Ⅲ 型号:MKY-III库号:M12664 (LQS)光学膜厚控制仪MKY-Ⅲ 型号:MKY-III库号:M12664
光学膜厚控制仪MKY-Ⅲ 型号:MKY-III
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MKY-Ⅲ型光学膜厚控制仪是一种以极值控制为主的光电式膜厚控制仪器。仪器高阻输入端适用于真空光电管或光电倍增管,作接收元件的控制系统。低阻输入端适用于硅光电池、硒光电池等,作接收元件的控制系统。仪器除用交流极值法控制膜厚外,还可以用一个表头指示光电信号对时间的微分值,帮助准确控制极值点,提高控制准确度。主副表头可方便对量程进行扩展补偿。
该仪器灵敏度高、量程宽、控制准确、使用调整方便。应用于真空镀膜领域。
·主频率:970~1000Hz
·放大器带宽:150~250Hz
·灵敏度:高阻挡满度值输入电压:10μV 低阻挡满度值输入电压:0.1μV
·等效开路输入噪声:高阻挡≤1μV
低阻挡≤0.02μV
·线 性:2.5%
·稳 定 性:±0.1%/5分钟
·对50Hz、100Hz抑制:>1000倍
·量程范围:高阻挡:1V~0.1mV(可扩展至10μV)
低阻挡:10mV~1μV( 可扩展至0.1μV)
·外型尺寸:440×300×169mm