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指标 | 特级去离子水 | 一级去离子水 | 二级去离子水 | 三级去离子水 |
电阻率 MΩ·cm(25℃) | 18 | 10-15 | 5-10 | 0.2-1 |
电导率μS/cm | 0.05 | 0.06-0.1 | 0.1-0.2 | 1-5 |
大于1μm微粒数,个/mL | 1 | 5 | 10 | 100 |
细菌个数,zui大值,个/mL | 1 | 5 | 10 | 50 |
总有机碳含量,zui大值μg/L | 50 | 100 | 200 | 1000 |
二氧化硅总含量,zui大值μg/L | 2 | 20 | 50 | 100 |
氯含量,zui大值μg/L | 0.5 | 2 | 10 | 100 |
铜含量,zui大值μg/L | 0.2 | 2 | 5 | 50 |
钾含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |
钠含量,zui大值μg/L | 0.5 | 6 | 10 | 200 |
锌含量,zui大值μg/L | 0.2 | 2 | 10 | 100 |
铝含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |
铁含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |
钙含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |