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3810s、3810s质量流量计、3810s、3810s质量流量计、、
流量范围N2换算 | F.S.10SCCM-2SLM;F.S.3-50SLM |
精度 | ±2.0%F.S.以内;±5%F.S.以内 |
再现性 | ±0.5%F.S.以内 |
耐压 | 980kPa |
使用温度 | 5℃-45℃(精度保证:15-35℃) |
连接气体部分材料 | 外壳:SUS303,PTFE |
封条:Viton | |
接头 | 标准:1/4SWL |
流量输出信号 | 0-5VDC |
需求电源供给 | +15VDC(±5%)40mA,-15VDC(±5%)10mA |
重量 | 250g;350g |
订购范例 | 3810S | 1/4 | N2 | 100SCCM | 3810S-1/4SWL-N2-100SCCM |
型号 | 3810S | | 3810S | ||
连接方式 | | 1/4 | | 标准:1/4:Rc1/4 | |
介质 | | N2 | | N2,Ar,Air,CO2,He,O2,H2(或其他气体) | |
流量 | | 100SCCM | 见表格 |
、、、
:李蓬山, 传真