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为了确保安全，需要臭氧尾气分解破坏装置来取走未溶解的臭氧气体并将其转化为氧气，这可由臭氧催化破坏装置来实现（因为饮用水源中不含对催化剂有毒物质的成分，采用催化破坏方式要比热破坏显著节省一次性投资和运行成本）。
未溶解的臭氧气体在每一个臭氧接触室的出口被收集，然后被催化装置分解，使得排放气中臭氧浓度不高于0.1x10-6(0.1ppm)，这个值基于8小时工作时间下工作场所允许的臭氧浓度。
抽气扇将尾气从反应池重抽搐，送到臭氧破坏装置，尾气经预热被加热到比入口温度高20℃，随后进入催化反应区，在那里臭氧被催化分解。
系统的压力损失取决于分解破坏系统的抽气扇，尾气从那里被排出。在臭氧分解破坏装置前面设有除雾器来除去尾气重的水份。
