真空的定義及單位
时间:2010-03-20 阅读:3146
真空的定義及單位 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
真空的定義及單位 當一個容器內空間的壓力小於一個標準大氣壓力(atm)時即被定義為真空(Vacuum)。因為真空和壓力有關,因此真空度即代表真空系統中壓力的程度。意即較低的真空度表示較高的壓力,較高的真空度表示較低的壓力。另可用單位體積內氣體分子密度來表示真空度;一標準大氣壓的氣體分子密度為 2.5× molecules/cm3,真空度越高,則單位體積內的氣體分子密度越低。目前表示真空度的壓力單位以托耳( Torr ) 以及國際壓力單位,帕Pascal (Pa) zui為常見,其定義為: 1atm=760mmHg=760Torr 標準大氣壓 :1pa=1N/m2 正排氣型泵浦 正排氣型泵浦屬於中低真空度的泵浦,其抽氣工作壓力範圍可從一大氣壓到 Torr,有些機型甚至可到 Torr。正排氣型泵浦抽氣速率依泵浦大小及構造從每分鐘數十公升到2、3萬公升不等,是中低真空系統中的主要泵浦。另外,正排氣型泵浦在高真空及超高真空系統中經常扮演真空粗抽(Roughing)及前級泵浦(Backing Pump)的角色。正排氣型泵浦依泵浦腔室是否有液體潤滑和密封之分別,又可分為油(液)封式真空泵浦以及乾式泵浦兩大類: 油(液)封式真空泵浦」 油(液)封式真空泵依作動方式不同又可分為旋轉式泵浦(Rotary Pump)及往復式泵浦(Reciprocating Pump)兩種。旋轉式泵浦係藉泵浦機殼內轉子(Rotor) 和靜子(Stator)連續接觸進行進氣、壓縮及排氣行程。常見的泵浦有液(水)封式真空泵( Liquid-ring Vacuum Pump)、油迴轉葉片型真空泵( Oil-sealed Rotary-vane Vacuum Pump)、油迴轉滑動葉片型真空泵( Oil-sealed Sliding-vane Vacuum Pump)以及油迴轉柱塞型真空泵(Oil-sealed Rotary-plunger Vacuum Pump)等。往復式泵浦以馬達驅動主動桿之旋轉,經由連桿(Coupler)帶動活塞在汽缸中做往復運動,如本公司的VS、VSW型泵浦。除液封式真空泵以製程液體作為封液外,其他幾種真空泵浦都必須搭配真空油或潤滑油來從事潤滑、排熱、密封以及防蝕作用,因此油品的選用也關係到真空泵的性能表現。 「乾式真空泵浦」 乾式真空泵依機械結構不同可分為魯式(Roots)、爪式(Claw)、螺旋式(Screw)、渦卷式(Scroll)以及薄膜式(Diaphragm)幾種。其中魯式泵浦在真空系統中廣泛用作助力泵浦(Booster Pump),可適度提高真空系統的抽氣效率。近年來由於半導體產業的興起,半導體製程中真空系統的潔淨度受到很大的重視,相較於油(液)封式真空泵在製程中有可能因油水氣回流造成污染問題,乾式真空泵在泵浦進氣、壓縮、排氣行程中並無液體潤滑或密封,因此在維持真空系統潔淨度上比油(液)封式真空泵的表現要好很多,而在半導體產業等被廣泛應用,其中螺旋式真空泵本身在維修便利性及耗能表現上的優勢,近來已漸成為市場的主流 |