真空的定義及單位
时间：2010-03-20 阅读：3155
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真空的定義及單位 當一個容器內空間的壓力小於一個標準大氣壓力（atm）時即被定義為真空（Vacuum）。因為真空和壓力有關，因此真空度即代表真空系統中壓力的程度。意即較低的真空度表示較高的壓力，較高的真空度表示較低的壓力。另可用單位體積內氣體分子密度來表示真空度；一標準大氣壓的氣體分子密度為 2.5× molecules/cm3，真空度越高，則單位體積內的氣體分子密度越低。目前表示真空度的壓力單位以托耳（ Torr ） 以及國際壓力單位，帕Pascal （Pa） zui為常見，其定義為： 1atm=760mmHg=760Torr 標準大氣壓 :1pa=1N/m2 正排氣型泵浦 正排氣型泵浦屬於中低真空度的泵浦，其抽氣工作壓力範圍可從一大氣壓到 Torr，有些機型甚至可到 Torr。正排氣型泵浦抽氣速率依泵浦大小及構造從每分鐘數十公升到2、3萬公升不等，是中低真空系統中的主要泵浦。另外，正排氣型泵浦在高真空及超高真空系統中經常扮演真空粗抽（Roughing）及前級泵浦（Backing Pump）的角色。正排氣型泵浦依泵浦腔室是否有液體潤滑和密封之分別，又可分為油（液）封式真空泵浦以及乾式泵浦兩大類： 油（液）封式真空泵浦」 油（液）封式真空泵依作動方式不同又可分為旋轉式泵浦（Rotary Pump）及往復式泵浦（Reciprocating Pump）兩種。旋轉式泵浦係藉泵浦機殼內轉子（Rotor） 和靜子（Stator）連續接觸進行進氣、壓縮及排氣行程。常見的泵浦有液（水）封式真空泵（ Liquid-ring Vacuum Pump）、油迴轉葉片型真空泵（ Oil-sealed Rotary-vane Vacuum Pump）、油迴轉滑動葉片型真空泵（ Oil-sealed Sliding-vane Vacuum Pump）以及油迴轉柱塞型真空泵（Oil-sealed Rotary-plunger Vacuum Pump）等。往復式泵浦以馬達驅動主動桿之旋轉，經由連桿（Coupler）帶動活塞在汽缸中做往復運動，如本公司的VS、VSW型泵浦。除液封式真空泵以製程液體作為封液外，其他幾種真空泵浦都必須搭配真空油或潤滑油來從事潤滑、排熱、密封以及防蝕作用，因此油品的選用也關係到真空泵的性能表現。 「乾式真空泵浦」 乾式真空泵依機械結構不同可分為魯式（Roots）、爪式（Claw）、螺旋式（Screw）、渦卷式（Scroll）以及薄膜式（Diaphragm）幾種。其中魯式泵浦在真空系統中廣泛用作助力泵浦（Booster Pump），可適度提高真空系統的抽氣效率。近年來由於半導體產業的興起，半導體製程中真空系統的潔淨度受到很大的重視，相較於油（液）封式真空泵在製程中有可能因油水氣回流造成污染問題，乾式真空泵在泵浦進氣、壓縮、排氣行程中並無液體潤滑或密封，因此在維持真空系統潔淨度上比油（液）封式真空泵的表現要好很多，而在半導體產業等被廣泛應用，其中螺旋式真空泵本身在維修便利性及耗能表現上的優勢，近來已漸成為市場的主流 |