品牌
其他厂商性质
上海市所在地
晶圆片快速脱氧高温烘箱,10pa真空高温氮气烤箱订制
本产品适用于半导体、电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥、脱泡、固化、焊接、退火等高温处理。
型号 | VOD-90 | VOD-210 | VOD-216 | |
真空度 | ≤10 pa | |||
电源 | AC380V 3φ 50HZ | |||
功率(KW) | 12 | 18 | 20 | |
工作环境温度 |
| |||
性能 | 温度范围 | RT+10℃~450℃ | ||
升温时间 | 2 ℃/minute~4 ℃/minute | |||
降温时间 | 2 ℃/minute~4 ℃/minute (400℃降至100℃,客户需配冷却塔) | |||
结构 | 外壳 | 冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤 | ||
内胆 | 5mm厚,SUS304不锈钢,不锈钢内外表面抛光 | |||
保温材料 | 厚度150毫米硅酸保温棉,保温性能良好 | |||
箱门 | 真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次) | |||
真空泵 | LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号); | |||
加热系统 | 四面辐射加热 | |||
电器系统 | 系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停; | |||
温控输出 | SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器 | |||
安全保护 | 加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、 缺相保护、电炉超温报警等功能 | |||
内容积(L)) | 91 | 215 | 252 | |
内部尺寸(㎜) | W450×D450×H450 | W560×D640×H600 | W700×D600×H600 | |
外部尺寸(㎜) | W800×D800×H1715 | W910×D990×H1865 | W1050×D950×H1865 |
晶圆片快速脱氧高温烘箱,10pa真空高温氮气烤箱订制