超纯水的步骤包括： 预处理系统、一级RO系统、二级RO系统、EDI系统、动力补水、抛光系统、超纯水系统。
　　预处理系统能够有效地过滤掉水中残留的颗粒杂质。防止膜元件在运行过程中被固体颗粒物损坏而导致膜的污堵，可保证膜系统的正常运行，并延长膜的使用寿命。同时也是保护RO增压泵。因水中有小颗粒物时，在高速运转中能将水泵的叶轮划伤。
　　一级RO系统中通过RO膜除盐，其原理为RO膜材质为聚酰胺复合膜,膜孔径约30nm，粒径小于孔径的离子可以透过RO膜，如水分子，那么盐离子则被拦截在浓水、进水侧。膜壳设置有产水出水、浓水出水，确保膜壳内介质处于流通状态，被分离的盐离子不断输出，用以降低膜两侧的渗透压。
　　二级RO系统的设计实现了阶段无排污设计理念，既节能又环保。
　　EDI模块集离子交换、电渗析于一体，两者相辅相成，除盐效率达到zui大。模块树脂可药洗再利用，恢复效率比较高。且EDI模块品质的好坏直接影响到系统出水水质及运行成本。
　　氮封装置的目的是依据氮气隔离气体和液体表面。避免因杂质气体接触带来的污染，而导致产水电阻值降低。
　　抛光系统过后，超纯水水质可达18兆以上。固抛光系统起到了维护稳固的作用。