真空泵真空区域的划分
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245次真空区域划分:
真空区域 | 压强范围 | |
托(Torr) | 帕(Pa) | |
低真空 | 760-10 | 101325-1333 |
中真空 | 10-10-3 | 1333-1.33×10-1 |
高真空 | 10-3 -10-8 | 1.33×10-1-10-6 |
超高真空 | 10-8-10-12 | 10-6-10-10 |
*真空 | <10-12 | <10-10 |