密闭性测试

密闭性测试用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室（区）。

一般适用于1级至5级的洁净室（区）进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

采用粒子计数器法时，测量被评价的表面的洁净室（区）外部的空气中悬浮粒子浓度，应比洁净室（区）内的浓度大一个10ª(a=4)的倍数，并至少大于等于3.5×106/m³待测粒径；若其空气中悬浮粒子浓度小于该值，应添加气溶胶提高浓度。

粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室（区）内待测试的接缝密封处或啮合面5-10cm；扫描速度5cm/s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室内敞开的门0.3 -3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。