产品简介
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
AZ-100000级实验室安装服务
详细介绍
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1.系统 室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。 2.洁净度与换气次数 房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。 3.结构 为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累 4.设计方案 要确定设计方案,必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式,洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。 5.材料 作为洁净室顶棚,墙面和地板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒,以及几乎不起尘的材料,另外根据房间不同的工作条件,还必须考虑材料的化学性能是否稳定。 6.压力和气流 为了保证房间的洁净度,必须防止外面污染气流进入室内,要达到这个目的,房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力,必须补充适当的新鲜空气。 7.辅助设备 必要时还得安置一些辅助设备:如新风口的空气指示仪,隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能 8.人和物的控制 人和物是洁净室的主要尘源,因此必须充分控制,例如:在进入净化房前,所有的人都要经过人净系统,更换无尘衣,并且要接受净化系统功能的基本教育。 9.给排水和送风装置及电源 根据所要运行的车间,提供必须的给排水装置,送风装置和电源,这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计,同时不得有勃于空气净化系统。 洁净室的规划一般性的规划重点 洁净室的整厂规划(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范围极广,需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划,尽管不少洁净室规划,多需要就于既有的建筑物,然而,为避免失误应尽可能事先确认下列事项: 1. 洁净度等级。 | 2. 室压之平衡措施。 | 3. 温湿度要求。 | 4. 机器设备之必要性。 | 5. 确定生产流程。 | 6. 局部排气之必要性。 | 7. 日后扩充弹性。 | 8. 足够维护保养空间。 | 9. 空调送风方式。 | 10. 员工休息区之安排。 | 11. 设施与动力之配置。 | 12. 室内净高与楼板载重。 | 13. 设备空间与管道间。 | 14. 门窗宜少,气密性要佳。 | 15. 静电、振动及噪音。 | 16. 生产线与活动线少交叉。 | 17. 公害、污染与防灾。 | 18. 安装及运转成本之衡量。 |
洁净室的动线规划
所谓[动线],是指人员、原料之入室路线,与人员与成品的出室路线。规划时,要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。 要点: 1.作业者、材料、化学药品等动线勿集中。 2.制造装置之出入,需不对作业产生大影响。 3.超洁净室四周,宜设缓冲区(即较差洁净区)。 工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表 洁净度 产业别 | 洁净度(≥0.5μm,个/ft3) | | LSI制造工程 | | | | | | LSI组立检查工程 | | | | | | (矽)单结晶 | | | | | | | | 照像光罩photo mask | | | | | 光阻涂膜photoresist | | | | | 一般液晶(tn,stn) | | | | | | | | 显示用液晶(tft,mim) | | | | | | 投影用液晶(tft) | | | | | | 混合(hybrid)IC | | | | | | | | 印刷基板材料 | | | | | | | 印刷配线板 | | | | | | | | 电晶体、二极体 | | | | | | 精密电子部品 | | | | | | | 磁头 | | | | | | | | 磁碟 | | | | | | 电脑、磁碟装置组立 | | | | | | | 录影带、光碟 | | | | | | 照像底片 | | | | | | | 光织 | | | | | | | | 精密轴承 | | | | | | 光学镜片 | | | | | | | 半导体制造装置 | | | | | | 洁净管及阀类 | | | | | | LSI制造用化学药品 | | | | | | 精密测定机制造 | | | | | | | 清洗无压衣 | | | | | | | 印刷、制版 | | | | | | | |
生物洁净室(BCR)之洁净度与适用和分类表 洁净度 产业别 | 洁净度(≥0.5μm,个/ft3) | | (医药品) | | | | | | | 抗生物质 | | | | | | | 注射药 | | | | | | | 血清 | | | | | | | 药剂包装过程 | | | | | | 医疗用器具 | | | | | | (病院) | | | | | | | 无菌手术室 | | | | | | | 手术室 | | | | | | 无菌病室 | | | | | | | 调剂室 | | | | | | | (食品) | | | | | | | 牛乳·乳制品 | | | | | | 食肉·食肉加工 | | | | | | 炼乳制品 | | | | | | | 清酒·酒类 | | | | | | | 糕饼·豆腐 | | | | | | | 制果·面包 | | | | | | (动物实验) | | | | | | | 饲养区 | | | | | | 隔离区 | | | | | | | 其他 | | | | | | | 磨茹·菌类培养 | | | | | | 观叶植物培养 | | | | | | 化妆品 | | | | | |
美国太空署(NASA)之无菌室规范重点(NHB-5340.2) 无菌室(BCR)洁净等级 | 微粒子 | 微生物 | 粒径 | 累积粒子数 个/ft3(个/L) | 浮游量 个/ft3(个/L) | 沈降量 个/ft2(个/M2) | 100 | ≥0.5 | ≤100(≤3.5) | ≤0.1(0.0035) | 1200(12900) | 10000 | ≥0.5 | ≤10000(≤350) | ≤0.5(0.0176) | 6000(64600) | ≥0.5 | ≤65(≤2.3) | 100000 | ≥0.5 | ≤100000(≤3500) | ≤2.5(0.0884) | 3000(323000) | ≥5.0 | ≤700(≤25) |
FS-209E洁净度等级(1992年) 粒径大小 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥5μm | 微粒子数 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | S1制级 | 英制级 | | | | | | | | | | | M1 | | 350 | 9.01 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | | | M1.5 | 1 | 1240 | | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | | | M2 | | 3500 | 35.0 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | | | M2.5 | 10 | 124000 | | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | | | M3 | | 35000 | 99.1 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | | | M3.5 | 100 | | | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | | | M4 | | | | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | | | M4.5 | 1000 | | | | | | | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | M5 | | | | | | | | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | M5.5 | 10000 | | | | | | | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | M6 | | | | | | | | 1000000 | 28300 | 6180 | 170 | M6.5 | 100000 | | | | | | | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | M7 | | | | | | | | 10000000 | 283000 | | |
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