汽化过氧化氢（VHP）灭菌器，是利用过氧化氢在常温下气体状态更具杀孢子能力的优点，经生成游离的-OH，用于进攻细胞成分，包括脂类、蛋白质和DNA，达到灭菌的要求的一种技术。常用于隔离室、隔离器等密闭空间的灭菌。

汽化过氧化氢灭菌，是利用过氧化氢在常温下气体状态比液体状态更具杀孢子能力的优点，将液体H2O2汽化并快速生成为游离的氢氧基（HO--），用于进攻细胞成分，包括脂类、蛋白质和DNA组织，破坏其结构，达到灭菌的要求。
汽化过氧化氢灭菌器是将浓度为35%的H2O2溶液，即双氧水通过汽化器汽化成过氧化氢蒸汽，然后通过等离子器将粒子变为气体HO-，并通过管道输送到空间进行消毒灭菌的设备。

等离子汽化过氧化氢灭菌器的生物除污过程可分为四个阶段：

1.汽化阶段：将输入到汽化器中汽化成过氧化氢蒸汽，并通过风机输入到混合舱，等待处理；

2.等离子发生阶段：将蒸汽状态的过氧化氢引入至等离子发生舱中，将蒸汽过氧化氢转化为等离子过氧化氢，并送入至灭菌舱中；

3.生物除污保持阶段：继续向灭菌舱输入过氧化氢等离子体，直至达到预设的浓度（一般以生物试纸验证浓度值为准）开始计时，在预设的浓度之上保持30~35min，生物除污完成（经验证30min灭菌效率达到6-log），停止过氧化氢汽化和等离子化；

4.处残留阶段：气路系统切换到处残留装置，汽化等离子体的过氧化氢通过分解器转化为水和氧气，不断循环将空气中的过氧化氢浓度降到1ppm以下。

每个阶段的操作可通过手动单独控制，也可以自动控制，按照顺序逐一运行。