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厂家*紫外线照射系统
火爆价直销准分子紫外线照射系统
脉冲紫外线照射系统
用于FPD的紫外线系统
准分子紫外线照射装置 :
有2种励磁方法 : 无线电频 (RF) 方式和阻碍放电方式
Eye 公司的准分子紫外线放射使用RF放电方法
RF放电灯的特点
1.强紫外线输出
2. 寿命长离子影响小(对石英管壁)
3. 无使用高电压,所以安全性高。
4. 对输出紫外线可调光 准分子紫外线装置洗净,改质效果
准分子紫外线照射器特点
1. 短波紫外线 :氙气准分子灯可以发射高能量,短波紫外线(172 nm)这是传统低压水银无法达到的。
这可以大幅度的减少反应时间,这也是传统低压水银灯无法做到的。
2. 瞬间点灯 :不像传统低压水银灯,氙气水银灯点灯后无需稳定时间,可即可输出所需能量。可瞬间
开或关,无需快门,因此简化构造。
3. 可低温操作 :不产生红外线因此不会损坏部件
4. 设定多样化照射条件 :各种气体 (O2 和O3, 等等.) 可导入照射室, 调温阶段可使热处理同时使用
。
用途
1. 在半导体区域,薄片和玻璃基板的干洗
2. 液晶,PDP,EL等制造程序中的干洗
准分子灯
准分子灯
模式 输出
(W) 有效弧长
(mm) 冷却方式 图示
EX240-1 200 200 水 图 1
EXH280-1 200 200 水 图 1
EXG430-1 400 400 水 图 1
EXH530-1 500 500 水 图 1
EXH680-1 600 600 水 图 1
EXH880-1 800 800 水 图 1
EXH1230-1 1000 1150 水 图 1
EXH1780-1※ 1700 1700 水 图 1
EXH2380-1 2300 2300 水 图 1
准分子照射系统
规格
照射器
模式 UEEX801
有效照射范围 800 X 90(mm)〔参考〕
灯模式 EXH880-1
波长 172nm
照射强度 (目标) 大于等于35mW/cm2
尺寸(mm) 1,450(W)X290(D)X391(H)
重量 约95kg
模式 UEEX1153
有效照射范围 1150X 170(mm)〔参考〕
灯模式 EXH1230-1
波长 172nm
照射强度 (目标) 大于等于35mW/cm2
尺寸(mm) 1,754(W)X500(D)X404(H)
重量 约160kg
模式 UBEX204
有效照射范围 max200X200(mm)
灯模式 4个高频放电准分子灯 EX240-1 Xe2*
波长 172nm
照射强度 (目标) 大约等于15mW/cm2 or
尺寸(mm) 550(W)X712(D)X326(H)
重量 约75kg
规格
电源
模式 UBEX801-3A/B
电压 200V±10% 三面
频率 50/60Hz
电容 2KVA
尺寸(mm) 430(W)X430(D)X222(H)
(不含突出部分)
重量 约15kg
规格
效用
冷却水给/排 水质 相当城市水
温度 20±10℃
流量 1- 2?/min
压力 0.2MPa
氮气 纯度 大于等于99.99%
流量 10 - 40?/min
压力 大于等于0.2MPa
模式 UBEX1153-3A/B
电压 200V±10% 三面
频率 50/60Hz
电容 6KVA
尺寸(mm) 430(W)X550(D)X216(H)
(不包括突出部分)
重量 约20kg
冷却水给/排 水质 相当城市水
温度 20±10℃
流量 4 - 6?/min
压力 0.2MPa
氮气 纯度 大于等于99.99%
流量 30 - 60?/min
压力 大于等于0.2MPa
模式 UBEX204
电压 200V±10% 三面
频率 50/60Hz
电容 1.5KVA(7.5A)
尺寸(mm) 480(W)X600(D)X199(H)
(不包括突出部分)
重量 约 30kg
冷却水给/排 水质 相当城市水
温度 10 to 30℃
水流 2.5 - 5?/min
压力 0.1 to 0.3MPa
氮气 纯度 大于等于99.99%
流量 10 to 30?/min
压力 大于等于0.3 to 0.5MPa
* 可提供弧长为400mm和600mm型
金刚石薄膜紫外线检测
( 模式: EVUV-200) 172nm/185nm
特点
1. 当受控于电脑时,可以远程控制.
2.金刚石薄膜的使用,即使长时间操作也不会降低感应性能。
3. 由于忽视可视光,即使在荧光灯灯照明场所也不会产生误差。
4. 为保护感应器免受紫外线和臭氧侵害,封闭外壳为镀金外壳
5. 感应器受光部为承受强紫外线,课穿透172nm波长的蓝宝石窗口。 特点
? 主机 模式 EVUV-200
测定模式 3 种模式 : 强度测量, 峰强度测量, 积算光量
功能 - 温度测定(测定器内置感应器上部
)
- 电压不足提醒
- 零偏移
电源/
电池寿命 碱性电池 (size AAA) × 4 ea./100小时
( 连续操作 )
外形尺寸 W100XH45XL211 (mm)
重量 约 400g ( 包括电池s )
附件 感应器头套× 1 (EVUVD-172 or EVUVD-185 )
RS-232C兼用电线× 1
AAA 碱性电池 × 4
收纳箱
?感应头套
模式 EVUVD-172 EVUV-185
校正波长 172
照射强度
(mW/cm2) 0.00~60.00
峰强度
(mW/cm2) 0.00~60.00
积算光量
(mJ/cm2) 0.00~9999
外部输入 模拟、RS-232C
尺寸(mm) W50XH17XL65 ※不包括电线
重量 (g) 约150
操作环境 温度(℃) 0- 50
※内置温度感应器 head
湿度(%RH) 小于等于85 (无结露)