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| 产品规格 | MC（质量流量控制器） | VC（体积流量控制器） | 测量单位 |
| 量程范围 | 0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800 | （S）CCM | |
| 1，2，3，5，10，20，50，100，250，500，1000 | （S）LPM | ||
| 精度等级 | ±1%或（选项±0.5%） | ±1%或（选项±0.5%） | 满量程 |
| 重复性 | ±0.5% | ±0.5% | 满量程 |
| 量程比 | 100：1 | 100；1 | |
| 响应时间 | 100 | 100 | 毫秒 |
| 压降大小 | — | — | 请和厂家协商 |
| 操作温度 | -10～+50 | -10～+50 | ℃ |
| 零点漂移 | 0.02%/ATM | 0.2% | 满量程/℃ |
| 范围漂移 | 0.02%/ATM | 0.2% | 满量程/℃ |
| 湿度量程 | 0-* | 0-* | 无冷凝 |
| 过流率 | 2.4% | 2.4% | 满量程 |
| zui大耐压 | 125 | 125 | PSIG |
| 供应电流 | 0.25 当流量≤20(S)LPM时 1 当流量≥50(S)LPM时30 | 安培 | |
| 电压电源 | 12-25V 当流量≤20(S)LPM时 24-30V 当流量≥50(S)LPM时7-39 | ||
| 输入/输出 | 0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232 | VDC | |
| 电气连接 | 8针接头或可选的工业连接接口 | 小型圆插头DIN | |
| 机械连接 | 1/8″接口：流量≤20（S）LPM 阀门侧1/2″接口，流量计侧1/4″接口：当流量为50(S)LPM和100(S)LPM时 1/2″接口：当流量为250~1000（S）LPM 1″接口：当流量>1000（S）LPM | NPTF | |
| 接液部件 | 303和302不锈钢，Viton ，RTV硅树脂，玻璃纤维增强尼龙，阳极氧化铝， 410和304不锈钢，镍，铜，Delrin ，Loctite 附加326，401，609 | ||
