1.低温等离子除臭设备中的介质阻挡放电的过程中，等离子体内部产生富含*化学活性的粒子，如电子、离子、臭氧和激发态分子等，理论上VOCs与这些具有较高能量的活性基团发生反应，部分会被裂解，最终转化为二氧化碳和水等物质，从而达到净化废气的目的。

2.低温等离子除臭设备在显微镜下，由于放电过程仅增加电‌‌子温度并且离子温度基本保持不变，因此反应系统可以保持在低温，并且低温等离子除臭设备具有高能量利用率。而且设备维护成本也很低。

3.低温等离子除臭设备电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量传递给分子或原子，并且获得能量的分子或原子被激发，并且一些分子被电离成为活性基团;然后这些活性基团和分子或原子、反应基团和反应基团相互碰撞形成稳定的产物和热量利用排气装置将有机气体输入净化装置后，利用高能紫外线光束和臭氧协同分解和氧化有机(气味)气体，使有机气体物质降解为低分子量化合物、水和二氧化碳，然后通过。排气管排出到外面。在毫秒时间内，立即对有害废气分子进行氧化还原反应，废气中的一小部分污染物被降解为二氧化碳和水以及易于处理的物质。