超声清洗技术的研究和应用，我国始于50年代，几乎与国外同步进行。上世纪80年代以前发展比较缓慢，80年代以后，特别是改革开放以來，这一新技术得到很快的发展。已经广泛地应用于电子电器工业，光学光电工业，钟表首饰工业，化工和纺织工业，汽车摩托车工业，机械工业，金属制品工业，原子能和航天航空工业，造船工业，制药工业和医疗器械等的清洗。超声清洗设备已由单缸标准机型向多缸，成套，和半自动及自动化超声清洗设备发展。为适应不同清洗对象，工作频率除已有的低频（40KHz以下）超声清洗外，还发展了高频（60—200KHz以上）超声清洗及多频率同时工作的超声清洗设备。超声频电源（又称超声波发生器）在上世纪80年代上普遍采用自激式D类晶体管开关功率放大器，线路比较简单，具有频率跟踪功能，通过多路合成，容易得到大功率的超声发生器，但在国内使用時曾用庞大的铁芯变压器降压，甚为笨重。21世纪以来，逐渐采用他激式开关电源，采用脉宽调制方式，输出功率可调。由于采用高压，大电流的IGBT器件或MOS模块，大功率的超声频电源体积较小，可靠性进一步提高，控制电路采用数字技术可以得到性能*，运行更可靠，可以遥控的超声频电源。