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电子行业用超纯水系统价格的标准：
水质标准：电阻率≥15MΩ.cm,达到中国电子Ⅱ级用水标准
电阻率≥18MΩ.cm,达到中国电子Ⅰ级用水标准
工艺：一级反渗透+混床
标准配制：原水→原水箱→原水泵→絮凝剂装置→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂装置→保安过滤器→高压泵→反渗透装置→中间水箱→中间水泵→混床→纯水箱→输送泵→紫外/臭氧杀菌→终端过滤→用水点（另配RO膜清洗装置）
电子级超纯水价格中国标准（GB/T11446.1-1997）
项目 级别 | 比电阻 MΩ.cm | 硅 ≤ μg/L | >1μm微粒数＜个/ml | 细菌个数＜个/ml | 铜≤ μg/L | 锌≤ μg/L | 镍≤μg/L | 钠≤ μg/L | 钾≤ μg/L | 氧≤ μg/L | 硝酸根≤ μg/L | 磷酸根≤ μg/L | 硫酸根≤ μg/L | 总有机碳≤ μg/L |
EW-Ⅰ | 18（95%的时间不低于17） | 2 | 0.1 | 0.001 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 20 |
EW-Ⅱ | 15（95%的时间不低于13） | 10 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 |
