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硅片扩散超声波清洗机

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概述：该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理

硅片扩散超声波清洗机(图1)

概述：

该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择，清洗程序为纯水清洗、清洗、冷热纯水冲洗、酸洗（HF）、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性达到进口同类设备水平，但价格、售后服务、备品备件的供给等是进口设备的。

主要特点：

采用进口PP板制作。

适用2-6寸硅片清洗。

超声功率强劲，性能稳定。

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