外延片（硅片）腐蚀清洗机-济宁市鲁超仪器有限公司手机版

详细介绍

外延片（硅片）腐蚀清洗机(图1)

概述：

本机控制模式：手动控制模式、自动控制模式。

主要特点：

清洗规格：

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手动方式实现放件，取件，槽体间传送件；腐蚀工艺自动补药液，保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性。

（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定。

药液供给及补液方式：分体式CDS自动供夜系统；DI槽配有在线式水质检测装置；配有分体式废液回收系统。