Prep-5型 等离子清洗/刻蚀机
真空舱体 Φ150mm × L320 mm 水平 （5 升
*石英/玻璃舱体Φ130mm,L300mm舱体容量：约4升/5升
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率连续可调 0-200W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 电源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 硅酸盐舱体（外置环形电极）或石英舱体
配件选装指南
· 13.56MHz射频发生器
· 2.45GHz射频发生器
· 半自动控制系统
· 全自动控制系统- 操作轻松简便的控制系统
· 计算机（PC）控制系统- 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程
· 附加气体通路
· 自动真空舱门
· 设备自动门
· 条码阅读器
· 偏压测量系统
· 碟型阀
· 排气过滤系统
· 适用于腐蚀性气体系统
· 舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸
· 粉末处理装置
· 法拉第容器
