Tetra-30-LF-PC型-DIENER真空等离子清洗机-深圳蓝星宇电子科技有限公司手机版

详细介绍

Tetra-30-LF-PC型等离子清洗/刻蚀机

真空舱体 W305 mm × H300 mm × D370 mm （34 升）
* 分层（zui多到6层）电极-托盘
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 3气路，MFC
* 电脑控制（Windows）
* 功率连续可调 0-1000W
* 自动阻抗匹配
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
* 规格：W600 mm×H2200 mm× D850 mm
* 电源：AC 380V/50Hz
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 加深舱体 D625mm* 旋转圆筒舱体（适用于处理颗粒状样品）

详情参见配件选装指南 ·

. 13.56MHz射频发生器 · 2.45GHz射频发生器 · 半自动控制系统 · 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统

· 计算机（PC）控制系统- 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 · 附加气体通路 · 自动真空舱门

· 设备自动门

· 条码阅读器 · 偏压测量系统 · 碟型阀 · 排气过滤系统 · 适用于腐蚀性气体系统 · 舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸 · 粉末处理装置 · 法拉第容器

· 气体供给系统

- 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体

· 玻璃舱体（硅酸盐或石英） · 预热板 · 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中

· 真空泵抽气入口过滤器 · 标签打印机 · 标签阅读机 · 加深舱体

· 单体瓶- 轻松的控制不稳定的液体含量

· 聚合处理附件 · 气瓶出气减压阀 · 石英玻璃皿 · 卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等

· RIE电极（适用于刻蚀）

· 旋转舱体系统- 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理

· 安全阀

· 服务条约 - 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔…

· 附加的配件

· 特殊的电极和托盘 · 特殊法兰/附加法兰 · 特殊软件 · 特殊真空舱体 · 过程温度测量

· 测试墨水（用于测试表面接触角）

· 真空泵系统

产品简介

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