APK6100E半导体行业超高纯(特种)气体稀释系统
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面议APK6100E半导体行业超高纯(特种)气体稀释系统,是一款具有高精度高稀释比的升级产品,可配制五种标气的混合气(可定制),稀释比可达到1:10000,二级稀释,高精度,带有加湿功能,可用于传感器生产商,半导体生产商的产品测试及科研院所的科学研究。可根据用户要求定制。
特点:
苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;
带有加湿功能,可控制稀释后气体湿度
高精度质量流量计(MFC),配制气体浓度精准
可选配液体标样稀释模块
应用:
传感器生产商
半导体生产商
科研院所
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■可配置液体或气体样品;
■可实现标样加湿功能;
■两级高精度MFC控制;
■稀释比高;
■全自动运行,直接读取浓度,ppm,ppb或ppt;
■可针对不同用户的稀释要求定制产品。