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D07-7CM气体质量流量计,氮气氢气质量流量控制器
气体质量流量计适用于对气体质量进行精密测量。它将测量的气体质量流量转换为相应的标准状态下的气体体积流量或标准状态下的气体质量流量。
气体质量流量计具有低功耗、精度高、寿命长、重复性好、流量量程宽、稳定可靠等特点。用测试气体质量的方法对气体进行流量测量，目前在国内处于地位。
D07-7CM气体质量流量计,氮气氢气质量流量控制器技术参数：
| 产品型号 | D07-7CM |
|---|---|
| 产品类型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
| 产品精度 | ±1.5％F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±1％F.S. |
| 响应时间 | ≤10sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | 无阀 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Female |
| 工作压差范围 | ＜0.01 MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 0.92 Kg |
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