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D07-19F气体质量流量控制器,抗电磁干扰气体质量流量控制器
特点:
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★管状分流,使用寿命长
D07-19F气体质量流量控制器,抗电磁干扰气体质量流量控制器介绍:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
,抗电磁干扰气体质量流量控制器技术参数:
产品型号 | D07-19F |
---|---|
产品类型 | 抗电磁干扰 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
产品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
响应时间 | ≤4sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
输入输出信号 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
电源 | 24V |
阀类型 | 常闭 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | (0.1~0.3) MPa (10slm<F.S.),(0.1~0.5) MPa (F.S.≤10slm) |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1.2Kg |