真空泵油在泵中起了密封、润滑、冷却和顶开排气阀的作用，所以泵油参与了压缩和摩擦，又减少了各零部件之间的摩擦。对于没有设置油泵的滑阀泵，只要滑阀与泵盖、中隔板之间的间隙适当，泵的进油量会自动调节。但如配有油泵，则油泵的流量必须经过仔细计算，通常为(7~10)x10-4S(S为泵的抽速L/s)，如油量过大，进入泵后将使真空泵变成油泵，不但压缩功增加，而且摩擦损失急剧增加。

泵油的运动粘度随温度的变化很大，如某厂的V100油，40℃时粘度为104.62mm2/s,100℃时粘度为11.63mm2/s。所以在保证工作真空度的条件下，适当的提高泵温，对降低消耗功率是大有益处的，豪可德真空科技通过实验证明，把泵温从50℃提高到70℃,消耗功率可降低7%,而且更有利于可凝性蒸气的抽除，同时也减少了冷却水消耗量。

真空泵油一般在-12℃就会凝固，故北方有些单位将泵置于室外工作是不可取的。这样不但不利于泵的启动，而且泵在启动后的短时间内，某些部位处于缺油或少油的状态，容易造成泵的损坏。