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气动高真空插板阀
CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向,控制执行气缸驱动阀板作上下运动,达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。带反馈信号装置。
适用范围:Applicability | 105~1.3×10-7Pa |
阀门漏率:Valve Leak Rate | ≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200) |
适用温度:Applicable Temperature | -30~+150℃ |
阀门开启时阀板两侧的压差: | ≤2.7×103Pa. |
气源压力:Annoy pressure | 0.4~0.6MPa |