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国内对电磁悬浮轴承的研究工作起步较晚落后国外约 20 年。电磁悬浮轴承的相关研究一直在清华大学,西安交通大学,上海大学等高校开展,并在理论分析方面取得了许多研究成果,但工业应用目前较少。 清华大学是目前国内电磁悬浮轴承研究领域中的取得研究成果较多的高校,研究方向主要集中在高温磁轴承上,从事过钻床电主轴和无轴承电机、医药工业中高速离心机(非全悬浮)的研究。 清华大学也是我国zui早从事磁轴承研究的单位。主要从事工业应用型电磁轴承的研究。该校的磁悬浮轴承已在 10MW 高温气冷堆氦气透平发电项目中应用。该透平压缩机的工作转速为15000r/min,功率为2500kW。亿昇(天津)科技有限公司就是以清华大学核能与新能源技术研究院为技术后盾,在国内*研发成功了一种适用于集成电路装备应用的5自由度控制分子泵磁轴承。