低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。

等离子废气净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。2、活性自由基可以有效地破坏各种病毒、细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将有机废气分子等离子体中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性的O3，能与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。 等离子体化学反应过程中，等离子废气净化器中的等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
1、电场＋电子→电子；

2、电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团；

3、活性基团＋分子(原子)→生成物+热；

4、活性基团＋活性基团→生成物+热。

等离子放电过程中产生的高能电子在与气体分子碰撞的过程中产生OH、O-、O·等自由基和O3。

图1 介质阻挡等离子体产生臭氧结构图   氧分子分解、电离过程及臭氧分子形成和分解过程：