MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器，与我们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器，可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3 mm的Z轴。

整个平台可以在短短几分钟内安装在SEM的载物台上，也可以很容易地将其移除，以使显微镜恢复到以前的状态。

MM3A-EM微操作器配备了低电流、低容量的测量能力，并与探测工具硬件和软件套件兼容，包括带电接触测试仪和电子束感应电流成像模块等。

该平台还可以安装温度高达450°C的加热台。其他定制可根据要求提供（e，g，集成LED照明）。

• 紧凑灵活

-易于安装和拆卸，具有高度灵活性

-带模块化组件的即插即用系统

-大多数SEM/FIB仪器的接口解决方案

-快速设置

-大样本的充足空间

-大工作范围（30 mm x 30 mm子阶段行程）

-开创性的布线技术

• 清晰简单

-直观的控制界面和软件

-用户友好且易于学习

-快速简便的探针头更换

-紧凑、独立的电子设备

-使用多个操纵器轻松工作

• 坚固稳定

-好的稳定性

-低漂移（1纳米/分钟）

-可靠运行（一年耐久性试验）

-几乎不受振动影响

-手动快速预定位

• 快速准确

-高操作速度（高达10毫米/秒）

-亚纳米分辨率（0.25纳米）

-无齿隙或反向间隙

-广泛的工作范围

-一个驱动器中的粗排量和细排量

• 总高度：31毫米
• 总宽度：180毫米
• max样本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm
• 重量：~1200克

三轴微型操作器

A=左/右B=上/下C=进/出

• 工作范围：A=240°，B=240°，C=12mm
• 分辨率A:7 x 10–9 rad（0.5 nm）
• 分辨率B:7 x 10–9 rad（0.2 nm）
• 分辨率C:<0.05 nm
• 低漂移：1纳米/分钟

低容量、低电流测量

• 噪音：25 fA@1 Hz
• 绝缘泄漏电流：<50 fA/V
• 信号导体电阻：<5Ω
• max电压：100 V
• max电流：100 mA

变电站

• 行程X和Y：28.5毫米
• 速度：highest 2 mm/s
• 分辨率：＜0.5 nm
• 重复性：50 nm（可选）
• 角度偏差：<1µrad
• 负载：500 g
• 可选Z驱动范围：3毫米
• Z提升能力：25 g
• 温度范围：273 K至353 K
• 特高压版本：273 K至393 K
• min压力：10-7毫巴
• 超高压版本：2 x 10-10毫巴
• 变电站安装：4 x 3.2 mm孔
• 样品安装：夹子或2 x M3孔

产地：德国

• 纳米抛光
• 故障分析
• 低电流晶体管测试