首先，臭氧为什么要冷却呢?我们知道， 臭氧发生器是一种带内部产热的气相反应器，由于空气及其他类似气体是不良热导体，电晕放电形成的热量会使气体温度升高，较高的温度可加速臭氧的逆反应，即臭氧还原成氧气，从而降低臭氧产量。因此有效冷却也是提高臭氧发生器效率的一项措施。

其次那臭氧发生器采用哪种冷却方式呢?有效冷却也是提高臭氧发生器效率的一项措施，由于水和油的吸热系数远远大于空气的吸热系数，因此一般工业用臭氧发生器均采用水冷式或油冷却式，由于气冷方便易行，一般在微型臭氧发生器中经常采用此种形式。

对于水冷却方式的臭氧发生器要考虑冷却水的水质，以防止冷却水结垢，以免影响臭氧发生器的散热效果，从而减少臭氧的产量，增加维护费用。对于气冷却方式的臭氧发生器来说，冷却空气必须无潮气、杂质、腐蚀性、气溶胶、油质或导电物质以及可见粉尘等物质。