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指标：
（1）流量范围：0.001mL/min-9.999mL/min，设定步长：0.001mL/min；
（2）流量准确度：≤± 0.3%（1.000mL/min，8.5MPa, 水，室温）；
（3）流量精度：PSD≤ 1‰（1.000mL/min，8.5MPa, 水，室温）；
（4）工作压力：40MPa（0.001mL/min-4.999mL/min）；
20MPa（5.001mL/min-9.999mL/min）；
（5）压力准确性: 显示压力误差±3%或0.5MPa以内
（6）压力脉动: ≤1.0%
